一種HDI板盲埋孔電氣互連可靠性檢測方法，包括：提供HDI板作為檢測樣品，檢測樣品包括檢測模塊；測試模塊包括POWER端回路和SENSE端回路，POWER端回路為SENSE端回路加熱；POWER端回路和SENSE端回路在Z方向上均成菊花鏈結構設置；對POWER端回路提供直流電加熱使POWER端回路從室溫升至測試溫度，POWER端回路將熱量傳遞SENSE端回路使從室溫升至測試溫度；兩個回路冷卻至室溫，完成一個熱循環(huán)并檢測SENSE端回路的電阻值；重復熱循環(huán)并檢測SENSE端回路的電阻值過150次，電阻值的變化率超出10％，則判定檢測樣品失效。上述方法實現(xiàn)HDI板盲埋孔電氣互連可靠性檢測方法。