本申請實施例提供一種時鐘晶體振蕩器檢測方法，包括整體檢測過程、開封檢測過程，所述整體檢測過程包括以下步驟：用顯微鏡外觀檢查；X光檢查、電流電壓特征測試、密封測試、顆粒碰撞試驗、超聲掃描顯微鏡檢測；所述開封檢測包含以下步驟：顯微鏡檢查、掃描電鏡晶片檢測、晶片功能測試、金相顯微鏡芯片檢測、芯片功能測試、掃描電鏡芯片內部檢測步驟。此檢測流程按照先非破壞性檢測后破壞性檢測的方法，縮短了失效檢測步驟，提高了失效檢測的效率和準確性。通過此方法的應用，可以達到在生產、試驗和使用過程中提高器件質量和可靠性的目的。 1