本發(fā)明提供了一種缺陷檢測設備及方法，通過激光發(fā)射裝置發(fā)出探測光，并使探測光輻照到待測樣品上，形成信號光，然后通過分光裝置將信號光中包含的散射光和熒光進行分離，使得熒光入射到第一探測裝置成像，散射光入射到第二探測裝置成像，進而通過控制裝置處理第一探測裝置采集到的熒光圖像信息以及第二探測裝置采集到的散射光圖像信息，得到待測樣品的表面缺陷信息以及亞表面缺陷信息。通過本發(fā)明提供的技術方案能夠實現(xiàn)對待測樣品的亞表面缺陷的無損檢測，而且能夠同時實現(xiàn)對待測樣品的表面缺陷的無損檢測，有利于節(jié)約缺陷檢測的測試時間，提高測試效率。