本發(fā)明公開了一種基于ZnSnO基非晶氧化物半導(dǎo)體薄膜的薄膜型酒精氣敏傳感器及其制備方法。該酒精氣敏傳感器包括絕緣襯底層、電極層和傳感層，其中傳感層為非晶氧化物半導(dǎo)體薄膜。本發(fā)明還提供了所述的酒精氣敏傳感器的制備方法，步驟包括絕緣襯底層準(zhǔn)備步驟、金屬電極制備步驟以及氣敏傳感層ZnSnO非晶基薄膜的制備步驟。其中傳感層是由溶液化學(xué)方法制備。本發(fā)明使用的制備方法操作簡單、成本低，制得的非晶氧化物半導(dǎo)體薄膜作為傳感層的酒精氣敏傳感器具有探測靈敏度高、制備方法簡單、重復(fù)性好等優(yōu)點，在軍事、民用等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用價值。