一種多晶化學(xué)氣相沉積(CVD)金剛石晶片包括：等于或大于125mm的最大線性尺寸；等于或大于200μm的厚度；以及在室溫下(標(biāo)稱298K)在多晶CVD金剛石晶片的至少中心區(qū)域上測(cè)量的以下特性中的一個(gè)或兩個(gè)，所述中心區(qū)域是圓形的，以多晶CVD金剛石晶片的中心點(diǎn)為中心，并且所述中心區(qū)域的直徑是多晶CVD金剛石晶片的最大線性尺寸的至少70％：在10.6μm處，吸收系數(shù)≤0.2cm-1；以及在145GHz時(shí)介電損耗系數(shù)為tanδ≤2×10-4。