本申請公開了一種稱重裝置，用于測定化學氣相沉積法作用對象的重量，包括重量檢測機構(gòu)與設(shè)置在加熱爐內(nèi)的用于放置化學氣相沉積法作用對象的料板，在所述料板的底部設(shè)置有支撐件，所述支撐件穿過所述加熱爐的底部并延伸至所述加熱爐外，所述支撐件能夠相對于所述加熱爐的豎直移動，所述支撐件置于所述重量檢測機構(gòu)上。本申請?zhí)峁┑姆Q重裝置，能夠?qū)崟r測定化學氣相沉積法作用對象的重量，直至作用對象上的重量達標，不僅節(jié)約能源，而且提高了生產(chǎn)效率。