鈦及鈦合金表面涂覆TiAlN的制備方法,它涉及一種鈦及鈦合金表面涂覆TiAlN的制備工藝。本發(fā)明按照下述步驟進行:a.準備好鈦合金試樣材料,然后進行試樣鍍層制備前的檢查,經(jīng)過在三氯乙烯中超聲波清洗、汽油清洗(兩次)、水洗、酸洗、乙醇清洗,最后烘干;b.采用8弧源多弧離子鍍膜機制備TiAlN鍍層,將烘干后的試樣裝爐,進行離子轟擊清洗,之后制備TiAlN鍍層,然后真空冷卻,出爐;c.TiAlN鍍層的制備工藝參數(shù)為:靶電流60-70A,基體負偏壓為-100~-400V,N2分壓0.32Pa,沉積溫度500℃和600℃,總沉積時間為120min,鍍層厚度約為3μm真空爐冷到80℃,試樣出爐;d.涂層表面EDS分析;e.鍍膜完成后,經(jīng)水洗、擦拭烘干、組裝、包裝。本發(fā)明得到的TiAlN化學(xué)穩(wěn)定性好、抗氧化磨損能力強、強度高、耐磨性好。
聲明:
“鈦及鈦合金手術(shù)器械表面涂覆TiAlN的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)