本公開(kāi)涉及一種基于
石墨烯的柔性光探測(cè)裝置及其制造方法。該方法包括制備單層石墨烯、制備柔性襯底上的第一金屬電極和第二金屬電極、制造n型石墨烯和p型石墨烯、制造透明柵極層的步驟。本公開(kāi)實(shí)施例所提供的基于石墨烯的柔性光探測(cè)裝置及其制造方法,制造裝置的加工過(guò)程簡(jiǎn)單。使用同一種半導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)了裝置的制造,使得裝置的制造效率高、成本低,且克服了相關(guān)技術(shù)中的界面問(wèn)題、晶格不匹配問(wèn)題。所制造的裝置機(jī)械性能好,耐化學(xué)、耐酸耐堿性好,提高了裝置的耐久性、穩(wěn)定性和可靠性,且具有柔性適用于柔性電子領(lǐng)域。
聲明:
“基于石墨烯的柔性光探測(cè)裝置及其制造方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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