本實用新型公開了屬于半導(dǎo)體器件領(lǐng)域的一種用于超聲定位與測距的微聲學(xué)器件,由制作有鐵電薄膜等多層薄膜材料所構(gòu)成。自下而上依次為硅杯襯底、熱氧化的二氧化硅、鈦層-下電極鉑層、PZT薄膜層/AlN薄膜層、上電極鉑層、等離子增強化學(xué)氣相淀積的二氧化硅層、和鋁電極。該器件既可作為麥克風(fēng)也可作為揚聲器使用能實現(xiàn)“薄膜振動-電信號”之間的有效互換?？蓪崿F(xiàn)超聲定位系統(tǒng)和超聲測距系統(tǒng)的搭建。具有很高的可靠性和抗干擾性,不易受溫度、濕度等影響。同時本發(fā)明將應(yīng)用于超聲定位和測距系統(tǒng)的微聲學(xué)器件,結(jié)合MEMS加工技術(shù),能很好的提高產(chǎn)品的可靠性,極大地促進(jìn)了產(chǎn)品的微型化和集成化,并有利于大批量的生產(chǎn),市場前景巨大。