一種化學(xué)機械拋光設(shè)備(20)和方法,其可使用渦流監(jiān)視系統(tǒng)(40)和光學(xué)監(jiān)視系統(tǒng)(140)。來自監(jiān)視系統(tǒng)的信號可以在輸出線上組合并被計算機提取??梢杂嬎銙伖鈮|(30)的厚度。渦流監(jiān)視系統(tǒng)(40)和光學(xué)監(jiān)視系統(tǒng)(140)可測量襯底上的基本上相同的位置。
聲明:
“具有光學(xué)和渦流監(jiān)視的集成結(jié)束點檢測系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)