本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于化學(xué)機(jī)械研磨的固定環(huán)，適于固定一晶片，所述固定環(huán)包括：一環(huán)形本體，其內(nèi)部開(kāi)設(shè)有一環(huán)形通道；至少一個(gè)第一孔，分布在環(huán)形本體的外壁上，且與環(huán)形通道連通；多個(gè)第二孔，均勻分布在環(huán)形本體的內(nèi)壁上，且與環(huán)形通道連通，當(dāng)化學(xué)機(jī)械研磨工藝被中斷時(shí)，通過(guò)由固定環(huán)內(nèi)壁孔中噴射出的保護(hù)液清洗金屬表面的研磨液，可防止金屬被腐蝕，減少在后續(xù)工藝中金屬表面產(chǎn)生擦痕，并且延長(zhǎng)機(jī)器檢修時(shí)間。