本發(fā)明公開(kāi)一種自動(dòng)化加工機(jī)臺(tái)組，包含：多個(gè)加工機(jī)臺(tái)；執(zhí)行部件，包括支架及取用器，支架相鄰加工機(jī)臺(tái)，且取用器可移動(dòng)地設(shè)置于支架上；視覺(jué)定位傳感器，用以感測(cè)并定位至少一化學(xué)藥品原料桶的開(kāi)口的位置；至少一連接蓋，借由取用器可拆卸地連接于至少一化學(xué)藥品原料桶的開(kāi)口；以及至少一連接管體，連接至少一連接蓋與各加工機(jī)臺(tái)中的供應(yīng)槽。借此，本發(fā)明的自動(dòng)化加工機(jī)臺(tái)組與應(yīng)用其的晶圓化學(xué)藥品自動(dòng)傳輸系統(tǒng)不需要借由人力，便可將已經(jīng)使用完畢的化學(xué)藥品原料桶與裝滿化學(xué)藥品原料的化學(xué)藥品原料桶進(jìn)行替換，因而能有效節(jié)省人力。