一種化學(xué)物供給方法和設(shè)備，其使用特定化學(xué)物的溶解度極限來(lái)提供測(cè)量的劑量。本發(fā)明包括特定容積的容器，固體化學(xué)物被放置和容納在該容器中。化學(xué)物溶解直到接近其溶解度極限。當(dāng)系統(tǒng)需要化學(xué)物定量給料時(shí)，沖洗容器并且受控劑量的化學(xué)物被供給到系統(tǒng)中。本發(fā)明可以結(jié)合動(dòng)力學(xué)的溶解以便允許來(lái)自供給給料器的較大劑量。