本發(fā)明公開(kāi)了一種化學(xué)液存儲(chǔ)設(shè)備及化學(xué)液存儲(chǔ)及分配控制方法,該設(shè)備包括:若干化學(xué)液存儲(chǔ)器、化學(xué)液保護(hù)裝置、以及控制器,化學(xué)液保護(hù)裝置包括:氣體輸送管路,與化學(xué)液存儲(chǔ)器連接;化學(xué)液輸送管路,與化學(xué)液存儲(chǔ)器連接;化學(xué)液分配管路,與化學(xué)液存儲(chǔ)器連接;每個(gè)化學(xué)液存儲(chǔ)器的側(cè)壁上不同高度處均設(shè)置有若干液位傳感器;控制器,與各管路及液位傳感器均相連,控制各管路的通斷,以及檢測(cè)化學(xué)液液位。本發(fā)明的設(shè)備及方法可對(duì)多個(gè)化學(xué)液存儲(chǔ)器內(nèi)的液體進(jìn)行動(dòng)態(tài)保護(hù),隨著化學(xué)液使用過(guò)程中液位的上升和下降,可保持存儲(chǔ)器中化學(xué)液上空的氣體處于動(dòng)態(tài)平衡,且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作容易。