本發(fā)明公開了一種摻雜元素對HfO2鐵電薄膜疇結構影響的相場分析方法。該方法包括建立極化序參量的總能量方程；基于所述總能量方程建立基于摻硅元素影響的力場控制方程、極化場控制方程和電場控制方程；基于摻雜元素的化學能和梯度能建立摻雜元素能量方程；基于所述摻雜元素能量方程建立濃度場控制方程；根據(jù)所述力場控制方程、極化場控制方程、電場控制方程和濃度場控制方程建立鐵電薄膜的相場計算模型；基于所述相場計算模型，通過調(diào)整摻雜元素的濃度和分布方式模擬所述HfO2鐵電薄膜的相變規(guī)律。該方法通過引入摻雜元素的摻雜元素能量方程，使得HfO2鐵電薄膜的相場計算模型能夠為摻雜元素的濃度和分布方式提供優(yōu)化指導。