本發(fā)明提供一種化學(xué)機械拋光墊，包括：具有拋光表面的拋光層；和光穩(wěn)性聚合物終點檢測窗，該檢測窗包括含有氨基部分的芳香聚胺與異氰酸酯封端、含有未反應(yīng)-NCO部分的預(yù)聚多元醇進行聚氨酯反應(yīng)的產(chǎn)物，以及包括至少一種UV吸收劑和受阻胺光穩(wěn)定劑的光穩(wěn)定劑成分；其中以＜95％的氨基部分與未反應(yīng)-NCO部分的化學(xué)計量比來提供芳香聚胺和異氰酸酯封端的預(yù)聚多元醇；其中光穩(wěn)性聚合物終點檢測窗在持續(xù)等軸拉伸載荷為1kPa、60?！婧銣?00分鐘時測定具有≤0.02％的依時應(yīng)變并且在380納米的波長下對于1.3mm的窗厚度具有≥15％的雙光通量；并且，其中拋光表面適用于拋光選自磁性基材、光學(xué)基材和半導(dǎo)體基材的基板。此外，本發(fā)明還提供了使用本發(fā)明的化學(xué)機械拋光墊拋光基材(優(yōu)選半導(dǎo)體晶片)的方法。