本發(fā)明公開的一種金剛線切割單晶硅廢料在線制造高純工業(yè)硅的方法，首先，將金剛石線切割制備硅片過程中產(chǎn)生硅細(xì)粉收集到回收槽中，將回收槽中的硅細(xì)粉鋸末料加水降溫稀釋后流入壓濾機(jī)；其次，將壓濾機(jī)中的含硅溶液進(jìn)行脫水?dāng)D壓后，送入造粒機(jī)進(jìn)行造粒，經(jīng)造粒后送入烘干機(jī)布料器，經(jīng)過烘干后，得到外徑為5mm～10mm，長度為10mm～25mm硅粒；最后，將步驟2得到的硅粒置于真空中頻感應(yīng)爐中進(jìn)行熔煉得到高純工業(yè)硅。本發(fā)明公開的方法，實(shí)現(xiàn)了邊切割單晶硅，邊收集硅廢料，邊提純硅廢料，實(shí)現(xiàn)了廢物利用，縮短了工藝流程，使單晶硅切片企業(yè)的固廢不出廠就可以回收利用，達(dá)到循環(huán)企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，并且產(chǎn)生了高的附加值。