本發(fā)明公開了用于鈮酸鋰基聲表面波器件的水冷平臺,水冷平臺包括由上至下依次設(shè)置的上蓋板、熱電偶支撐層、隔板、散熱層和下基板,水冷平臺包括設(shè)置在中心的聚焦區(qū)和設(shè)置在聚焦區(qū)外圍的外圍區(qū);熱電偶支撐層上設(shè)有與聚焦區(qū)對應(yīng)設(shè)置的聚焦區(qū)熱電偶和與外圍區(qū)對應(yīng)設(shè)置的外圍區(qū)熱電偶,外圍區(qū)熱電偶及聚焦區(qū)熱電偶通過導(dǎo)線口與外部的控制電路電連接以用于監(jiān)測聚焦區(qū)及外圍區(qū)的溫度;外圍區(qū)冷液口與聚焦區(qū)冷液口與外部的供水裝置連接,散熱層上設(shè)有位于聚焦區(qū)的聚焦循環(huán)通道和位于外圍區(qū)的外圍循環(huán)通道。分別對聚焦區(qū)與外圍區(qū)進行循環(huán)冷卻,并且其聚焦區(qū)循環(huán)通路與外圍區(qū)循環(huán)通路相對獨立,不會相互影響,有效避免由于鈮酸鋰去遇見溫差大而導(dǎo)致
芯片斷。
聲明:
“用于鈮酸鋰基聲表面波器件的水冷平臺、水冷散熱裝置及其使用方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)