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新型纖鋅礦GaAs核殼納米線光電探測器的制備方法

1379   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-02-25 02:00:01
本發(fā)明涉及一種新型纖礦GaAs核殼納米線光電探測器的制備方法,將GaAs(111)B單晶襯底先后浸泡在多聚賴氨酸溶液和金溶膠中,然后清洗并干燥,放入到金屬有機氣相沉積系統(tǒng)中,通入高純氫氣作為載氣,然后通入砷化氫,將襯底加熱一段時間,然后降溫,再通入三甲基鎵,保持一段時間;將襯底加熱,然后通入三甲基銦和磷化氫,將所制備的核殼納米線轉(zhuǎn)移到Si/SiO2襯底上,然后在納米線表面涂上一層ZEP光刻膠,然后在納米線兩端刻畫出兩個溝道,之后利用稀鹽酸腐蝕納米線以去除掉納米線InP殼層,隨后鍍上Ti/Au合金以制備電極,得到新型纖鋅礦GaAs核殼納米線光電探測器。本發(fā)明制備的光探測器測量效率高,也比現(xiàn)有的納米線光探測器的光響應(yīng)度高接近兩個數(shù)量級。
聲明:
“新型纖鋅礦GaAs核殼納米線光電探測器的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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