本實(shí)用新型涉及炭/炭
復(fù)合材料氣相沉積設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體公開(kāi)了一種大型環(huán)形氣相沉積爐。其包括爐體、爐蓋及爐底板,在所述爐體內(nèi)從外到里依次設(shè)有圓筒形保溫筒、外發(fā)熱體、外沉積筒,其特點(diǎn)在于,在所述外沉積筒內(nèi)還設(shè)有內(nèi)沉積筒,所述內(nèi)沉積筒內(nèi)設(shè)有圓筒形內(nèi)發(fā)熱體,在所述內(nèi)沉積筒和外沉積筒之間形成環(huán)形爐膛,所述環(huán)形爐膛的頂部設(shè)有爐膛蓋,所述環(huán)形爐膛的底部設(shè)有環(huán)形沉積底板,所述爐底板上設(shè)有多個(gè)進(jìn)氣管,所述保溫筒的頂部設(shè)有保溫蓋。所述進(jìn)氣管沿環(huán)形沉積底板呈環(huán)形均布。其與已有技術(shù)相比具有能充分利用爐膛空間,適應(yīng)沉積大型環(huán)形工件和小型工件,升溫時(shí)間較短,溫度均勻性較好,產(chǎn)品一致性較好,造價(jià)低廉,維護(hù)方便等特點(diǎn)。
聲明:
“大型環(huán)形氣相沉積爐” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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