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單晶硅生長爐用保溫隔熱筒

722   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:55:25
本實(shí)用新型公開了一種單晶硅生長爐用保溫隔熱筒,其包括外保溫筒,其特征在于,在所述外保溫筒的內(nèi)壁設(shè)有內(nèi)隔熱屏,所述內(nèi)隔熱屏由炭/炭復(fù)合材料制成。所述內(nèi)隔熱屏包括依次套接的至少兩個(gè)以上的分段隔熱屏。所述各分段隔熱屏之間設(shè)有止口或坡口連接結(jié)構(gòu),所述各分段隔熱屏之間還可以通過連接環(huán)連接。優(yōu)選方案是所述內(nèi)隔熱屏包括三個(gè)分段隔熱屏,依次為上段隔熱屏、中段隔熱屏及下段隔熱屏,所述下段隔熱屏上設(shè)有通孔,所述外保溫筒由石墨氈或炭氈制成。本實(shí)用新型用于單晶硅生長爐具有較高的高溫強(qiáng)度,和較低的熱導(dǎo)系數(shù)。不僅降低了保溫隔熱筒厚度,而且降低了保溫隔熱筒的更換成本。
聲明:
“單晶硅生長爐用保溫隔熱筒” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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