亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 復(fù)合材料技術(shù)

> 復(fù)合圖形化襯底的制備方法

復(fù)合圖形化襯底的制備方法

1012   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:45:54
本發(fā)明公開了一種復(fù)合圖形化襯底的制備方法,包括以下步驟:S1:制備藍(lán)寶石基礎(chǔ)襯底;S2:在S1步驟中制備的藍(lán)寶石基礎(chǔ)襯底表面固定支撐體,再在支撐體表面鍍金屬合金層,去除氧化膜,去除支撐體,即得空腔結(jié)構(gòu)的藍(lán)寶石襯底;S3:在藍(lán)寶石襯底的空腔中填充納米復(fù)合材料,同時(shí)在金屬合金層外表面形成AlN層;S4:在AlN層上進(jìn)行光刻膠、堅(jiān)膜以及兩次ICP刻蝕處理;S5:清洗掉剩下的光刻膠,即得復(fù)合圖形化襯底。本發(fā)明提出的制備方法簡單、易操作,制得的復(fù)合圖形化襯底晶體質(zhì)量高,光的出射強(qiáng),襯底整體的重量輕,生產(chǎn)成本低,基礎(chǔ)襯底與GaN材料的溫差小,晶體的性能穩(wěn)定,晶格失配率低,MOCVD的使用效率高。
聲明:
“復(fù)合圖形化襯底的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
復(fù)合材料
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記