本實(shí)用新型涉及熱氫化C-C熱場,屬于四氯化硅熱氫化設(shè)備。屬于多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域。其碳碳復(fù)合材料多氣腔結(jié)構(gòu)置于底盤上,碳碳復(fù)合材料多氣腔結(jié)構(gòu)分為上、下兩部,其結(jié)構(gòu)相同,在下部結(jié)構(gòu)的四周按120度均勻地設(shè)置有三個(gè)進(jìn)氣口,多氣腔結(jié)構(gòu)上、下部結(jié)構(gòu)板材間用碳碳螺栓一次性連接固定,在多氣腔結(jié)構(gòu)上設(shè)置有頂蓋,多氣腔結(jié)構(gòu)置于熱氫化設(shè)備本體鐘罩內(nèi),在熱氫化設(shè)備本體鐘罩的頂部設(shè)有爐膛頂部進(jìn)氣,頂蓋與熱氫化設(shè)備本體鐘罩的側(cè)面形成外圍空間,在熱氫化設(shè)備本體鐘罩的底部中心設(shè)有出氣孔,出氣孔與底盤的氣孔相通;其一、特殊的熱場結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),增加轉(zhuǎn)化爐熱場的加熱面積,增加反應(yīng)氣體的換熱時(shí)間,進(jìn)而提高轉(zhuǎn)化率,減低電耗。其二、解決材料安裝過程中的易損問題。其三、特殊熱場結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和氣路設(shè)計(jì)提高材料重復(fù)利用率,降低材料腐蝕腐朽,降低材料成本。