本發(fā)明公開了一種基于鈦酸鋇與鐵酸鈷的雙層自支撐磁電復(fù)合薄膜制備方法,主要解決現(xiàn)有1-3結(jié)構(gòu)的
復(fù)合材料不能同時(shí)減小襯底鉗制效應(yīng)和漏電的問題。其實(shí)現(xiàn)步驟是:先在藍(lán)寶石襯底沉積一層氧化鎂薄膜,并在氧化鎂薄膜上依次沉積鐵酸鈷和鈦酸鋇薄膜,得到雙層磁電復(fù)合薄膜;再在其表面旋涂上聚甲基丙烯酸甲酯,用硫酸銨溶液除去單晶氧化鎂薄膜,使附有聚甲基丙烯酸甲酯的磁電復(fù)合薄膜與藍(lán)寶石襯底脫離,并將脫離藍(lán)寶石襯底的磁電復(fù)合薄膜轉(zhuǎn)移到后續(xù)所需的襯底上,得到鐵酸鈷鈦酸鋇自支撐磁電復(fù)合薄膜。本發(fā)明得到的自支撐磁電復(fù)合薄膜相比現(xiàn)有的1-3結(jié)構(gòu)的復(fù)合材料,其不僅可以減小襯底鉗制,而且減小了漏電問題,可用于磁電傳感器的制備。
聲明:
“基于鈦酸鋇與鐵酸鈷的雙層自支撐磁電復(fù)合薄膜制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)