一種超聲輔助激光拋光陶瓷基
復合材料的方法,先將SiC陶瓷基復合材料的加工樣片表面研磨拋光,超聲清洗;再將加工樣片固定在超聲輔助激光拋光加工裝置上,移動平臺使激光聚焦到起始加工位置;設置激光參數、振鏡掃描參數、超聲振動參數和XYZ高精密移動平臺的運動參數,打開飛秒激光器和超聲發(fā)生器,用調好的參數進行加工樣片的超聲輔助激光拋光加工;拋光完成后,對加工樣片再次進行超聲清洗;本發(fā)明將激光與超聲兩種加工方法相結合,充分利用了超聲波的聲流、空化等效應,解決了激光拋光過程中因等離子效應和顆粒粘附效應產生的重鑄層、表面裂紋等缺陷的問題,優(yōu)化了激光加工的進程,提高了材料去除率和拋光表面質量。
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