一種磁致伸縮薄膜復合材料及其制備方法，所述薄膜復合材料由防護層、磁致伸縮層、柔性襯底層依次復合而成，所述磁致伸縮層的化學式為：(Tb1?xDyx?δNδ)(Fe1?yMy)z，其中0.60≤x≤0.80，0≤y≤0.2，1.8≤z≤2.2，0≤δ≤0.3，M代表B、Al、Si、Ti、V、Cr、Mn、Co、Ni、Zn、Ga、Nb、Ta和W中1種或2種以上的組合，N代表除Tb和Dy以外的其它稀土元素中1種或2種以上的組合。本發(fā)明的磁致伸縮薄膜復合材料界面復合強度高、結(jié)構(gòu)簡單、有效避免了磁致伸縮層的損傷，具有良好的壓磁系數(shù)(d33)，交變頻率渦流損耗小、性能穩(wěn)定、尺寸輕薄，非常適合制備磁?聲換能器和超聲波無損檢測傳感器。