本發(fā)明公開(kāi)了一種飛秒激光真三維微納加工中心,沿飛秒激光產(chǎn)生放大系統(tǒng)的輸出光束方向上設(shè)置反射鏡,反射鏡與輸出光束的負(fù)向夾角為45°,沿反射后的光軸方向在反射鏡下方設(shè)置多軸聯(lián)動(dòng)微動(dòng)工作臺(tái),在反射鏡和多軸聯(lián)動(dòng)微動(dòng)工作臺(tái)中間的光軸方向上設(shè)置聚焦透鏡,并在反射鏡上方設(shè)置CCD傳感器,飛秒激光產(chǎn)生放大系統(tǒng)、多軸聯(lián)動(dòng)微動(dòng)工作臺(tái)、CCD傳感器和LCD監(jiān)視器連接在工控機(jī)上。該加工中心能夠加工高熔點(diǎn)、高硬度和高脆性等特種
功能材料的微納尺度真三維結(jié)構(gòu)件。
聲明:
“飛秒激光真三維微納加工中心” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)