本發(fā)明涉及一種電加熱設(shè)備用超溫自保護(hù)晶閘管的制作方法，包括以下步驟：1)清洗硅片；2)石英閉管清洗；3)鎵、鋁源一次全擴(kuò)散；4)P+擴(kuò)散；5)氧化；6)一次光刻；7)磷擴(kuò)散；8)割圓；9)燒結(jié)；10)蒸發(fā)；11)合金；12)二次光刻；13)臺(tái)面成型；14)封裝；15)晶閘管測(cè)試。1)在控制極回路中加入溫度控制器，實(shí)現(xiàn)超高溫保護(hù)；2)采用高純鎵、高純鋁源一次全擴(kuò)散的制造工藝技術(shù)，擴(kuò)散均勻，效率高；3)采用陽(yáng)極P+擴(kuò)散技術(shù)降低硅片與鉬片接觸的壓降；4)燒結(jié)過(guò)程采用電腦程控儀控制設(shè)備燒結(jié)溫度，精確穩(wěn)定，一致性好；5)外密封管殼采用無(wú)氧銅加陶瓷密封，熱阻小，防潮性能高。