本發(fā)明提供了一種鎵酸鑭薄膜光電探測器，以及相應的鈣鈦礦結構鎵酸鑭薄膜及其制造方法。所述的探測器包括依次疊置的襯底、鎵酸鑭薄膜和電極，其中鎵酸鑭薄膜為(00l)取向的鈣鈦礦結構LaGaO₃外延薄膜，襯底為LaAlO₃襯底。本發(fā)明的工藝可控性強、容易操作。本發(fā)明制得的鎵酸鑭薄膜表面致密、厚度穩(wěn)定均一，適于大面積制備、且重復性好。本發(fā)明制得的光電探測器暗電流極小、紫外可見抑制比高、響應度高、且制造工藝簡單。