本發(fā)明公開(kāi)了屬于鎢粉末冶金技術(shù)領(lǐng)域的一種半導(dǎo)體存儲(chǔ)器用高純納米鎢粉的制備方法。該方法包括以下步驟：(1)向純化的鎢酸銨溶液中加入鹽酸，得到鎢酸漿液；(2)以氯化鈀為催化劑，向步驟(1)所得鎢酸漿液中通入氫氣進(jìn)行液相氫還原反應(yīng)，制得高純納米鎢粉。利用本發(fā)明方法制備的高純納米鎢粉，有利于高純鎢靶的致密化燒結(jié)成型，同時(shí)可以顯著降低其燒結(jié)溫度，從而獲得組織細(xì)小均勻、晶粒取向隨機(jī)的高純鎢靶材；所得高純納米鎢粉可以滿足半導(dǎo)體存儲(chǔ)器行業(yè)的使用要求。