一種檢測金屬原子在非晶合金擴散深度的新方法，首先將非晶合金加工，打磨，在丙酮中進行超聲波清洗和脫脂，放置于磁控濺射鍍膜設備的真空爐中；進行擴散退火熱處理實驗前，鍍膜后的樣品被密封在真空玻璃管內，保溫，擴散退火熱處理之后，試樣快速冷卻至室溫；采用二次離子質譜儀對金屬/非晶合金擴散偶的原子分布情況進行分析，測試過程離子源對樣品進行逐層剝離，通過對二次離子的質量分析，獲得樣品表層元素成分及元素沿縱向深度的分布狀態(tài)；將TEM結果相結合，獲得不同原子在非晶合金中擴散濃度與深度的變化曲線；最終可推算出擴散系數(shù)，本發(fā)明使金屬原子與非晶合金最終達到原子級別的冶金結合，基體并保持非晶態(tài)，獲得更為可靠準確的數(shù)據(jù)。