本發(fā)明公開了一種精煉冶金硅的雜質(zhì)含量檢測方法,包括如下步驟:(1)在所需檢測的晶棒或晶錠上沿結(jié)晶方向選取測量點(diǎn),測定電阻率,獲得電阻率隨結(jié)晶分?jǐn)?shù)分布的實(shí)測值;(2)給出每個測量點(diǎn)的硼和磷含量的預(yù)估值,算出預(yù)估凈余載流子濃度,以及該點(diǎn)的實(shí)測凈余載流子濃度;(3)比較各個測量點(diǎn)的凈余載流子濃度實(shí)測值和預(yù)估值,調(diào)整硅材料中的雜質(zhì)含量預(yù)估值,獲得新的每個測量點(diǎn)預(yù)估凈余載流子濃度,通過回歸分析法確定硼和磷的雜質(zhì)含量分布情況;(4)根據(jù)各個測量點(diǎn)的雜質(zhì)分布情況,得出待測材料中的硼和磷的平均雜質(zhì)含量。本發(fā)明能夠準(zhǔn)確地測出精煉冶金硅中硼和磷的雜質(zhì)含量,且操作簡便,成本低廉,適于工業(yè)化應(yīng)用。