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PVD埃米金薄膜載體及其制備方法

321   編輯:中冶有色網(wǎng)   來源:湖南玉豐真空科學技術有限公司  
2025-07-03 11:56:21
權利要求 1.一種PVD埃米金薄膜載體的制備方法,其特征在于,包括以下步驟: S1、在基片玻璃反面激光標號; S2、將S1步驟的基片玻璃依次進行超聲波清洗、烘干、消毒、等離子清洗; S3、將S2步驟的基片玻璃真空鍍金屬層,所述金屬層為鈦層和/或金層; S4、將S3鍍層后的基片玻璃切割、包裝,得到PVD埃米金薄膜載體。 2.根據(jù)權利要求1所述的制備方法,其特征在于,S1中所述基片玻璃為0.3mm-1.1mm平面浮化玻璃。 3.根據(jù)權利要求1所述的制備方法,其特征在于,S2中所述消毒的條件為:真空環(huán)境中,300℃~400℃的溫度下消毒。 4.根據(jù)權利要求1所述的制備方法,其特征在于,S3中所述鍍金屬層的條件為:鍍膜室通入Ar流量為200~520sccm,溫度為50℃~130℃,鍍膜室本底真空度1.0×10-3Pa~6.0×10-5Pa,充氣后鍍膜室總氣壓恒定為0.3~0.5Pa,所述鍍鈦層的厚度為3nm-20nm,所述鍍金層的厚度為3nm-20nm。 5.根據(jù)權利要求4所述的制備方法,其特征在于,所述鍍鈦層的純度為99.99%-99.9999%;所述鍍金層的純度為99.99%-99.9999%。 6.根據(jù)權利要求1所述的制備方法,其特征在于,S4所述切割、包裝在GMP凈化環(huán)境下進行。 7.一種如權利要求1-6中任一項所述制備方法得到的PVD埃米金薄膜載體,其特征在于,在基片玻璃載體一面上依次鍍有鈦層和金層。 說明書 技術領域 [0001]本發(fā)明涉及合金靶材技術領域,尤其涉及一種PVD埃米金薄膜載體及其制備方法。 背景技術 [0002]目前在生物醫(yī)學檢測中,大量使用白玻璃作為生物病毒標志物及其它待檢測的樣本的載體,因玻璃中含有鈉、硅、鐵、鋁、鈣等離子會破壞和影響標記物檢測的質量,同時玻璃表面存在微生物、細菌和病毒影響最終的檢測結果,破壞準確性。金的微小顆粒(納米金)直徑在1~100nm之間,具有高電子密度、介電特性和催化作用,能與多種生物大分子結合,且不影響其生物活性,這為金在生物醫(yī)學領域的應用提供了更多的可能性。由于納米金微粒所具有的表面等離子體
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