權(quán)利要求 1.一種用于立式沉積爐中石墨爐管的自動化提取裝置，其特征在于，立式沉積爐包括石墨爐管，用于立式沉積爐中石墨爐管的自動化提取裝置包括機(jī)架、提升架、三級伸縮臂、氣動膨脹爪和三級伸縮臂驅(qū)動組件， 其中，提升架連接在機(jī)架的支撐面上方，用于提升或下降三級伸縮臂;三級伸縮臂的上端與提升架連接，三級伸縮臂的下端與氣動膨脹爪連接，且三級伸縮臂位于機(jī)架的側(cè)邊;三級伸縮臂驅(qū)動組件與三級伸縮臂連接，且用于驅(qū)動三級伸縮臂上下移動;氣動膨脹爪通過壓縮空氣控制;三級伸縮臂配置為長度可調(diào)節(jié)，且用于將氣動膨脹爪移動至石墨爐管上;氣動膨脹爪用于抓取石墨爐管。 2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于立式沉積爐中石墨爐管的自動化提取裝置，其特征在于，還包括石墨爐管暫存座， 其中，石墨爐管暫存座連接在機(jī)架的支撐面下方;提升架包括定位傳感器，定位傳感器用于定位石墨爐管與石墨爐管暫存座的對接;三級伸縮臂與提升架移動連接。 3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于立式沉積爐中石墨爐管的自動化提取裝置，其特征在于，立式沉積爐還包括與石墨爐管連接的氣體分配器，用于立式沉積爐中石墨爐管的自動化提取裝置還包括真空吸附盤， 其中，真空吸附盤與氣動膨脹爪連接，且通過壓縮空氣控制;三級伸縮臂還用于將真空吸附盤移動至石墨爐管上。 4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于立式沉積爐中石墨爐管的自動化提取裝置，其特征在于， 三級伸縮臂包括基本臂、第一級伸縮臂和第二級伸縮臂，其中，第一級伸縮臂滑動嵌套于基本臂內(nèi)，第二級伸縮臂則滑動嵌套于第一級伸縮臂內(nèi)。 5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于立式沉積爐中石墨爐管的自動化提取裝置，其特征在于， 氣動膨脹爪包括氣壓缸、活塞桿、傳動機(jī)構(gòu)、控制閥和夾持爪，其中，氣壓缸與活塞桿連接，活塞桿與夾持爪連接，傳動機(jī)構(gòu)用于將活塞桿的運(yùn)動轉(zhuǎn)換為夾持爪的夾持或釋放動作，活塞桿用于在氣壓缸內(nèi)移動時(shí)帶動夾持爪進(jìn)行運(yùn)動;控制閥與氣壓缸連接，且用于調(diào)節(jié)氣壓缸中氣壓大小和流速。 6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于立式沉積爐中石墨爐管的自動化提取裝置，其特征在于， 真空吸附盤包括吸盤、吸盤架和密封圈，其中，吸盤下分布多個(gè)小孔，并與吸盤架的管道相連，以實(shí)現(xiàn)真空吸力的傳遞;