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鋁鉻合金靶材的短流程制備方法

652   編輯:中冶有色網(wǎng)   來源:西安稀有金屬材料研究院有限公司  
2025-03-13 15:48:18
權(quán)利要求 1.一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法,其特征在于,該方法包括以下步驟: 步驟一、準備單質(zhì)鋁、鉻及輔助合金元素的粉末原料;所述輔助合金元素為硼、鎢或硅,且粉末原料中鋁、鉻、輔助合金元素的原子百分比分別為50%~70%、20%~40%以及不超過10%; 步驟二、將步驟一中準備的粉末原料在氬氣保護下混合均勻,得到混合粉末; 步驟三、在氫氬混合氣氛下,將步驟二得到的混合粉末進行還原和烘干處理; 步驟四、將步驟三中還原和烘干處理后的混合粉末均勻鋪于石墨模具中,然后置于SPS燒結(jié)爐中抽真空,采用梯度加熱、加壓的方式進行SPS燒結(jié),得到燒結(jié)坯料; 步驟五、將燒結(jié)坯料進行包覆熱軋及退火處理,獲得鋁鉻合金靶材坯料; 步驟六、將步驟五中獲得的鋁鉻合金靶材坯料進行機加工、校直、真空退火及清洗處理,得到鋁鉻合金靶材。 2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法,其特征在于,步驟一中所述鋁粉末的粒徑不大于180目,且質(zhì)量純度為99.99%以上,所述鉻粉末、輔助合金元素粉末的粒徑均不大于325目,且質(zhì)量純度均大于99%。 3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法,其特征在于,步驟二中所述混合均勻的工藝為采用V型混粉機充氬氣保護混合2h~5h。 4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法,其特征在于,步驟三中所述烘干處理的溫度為200℃~300℃,時間為2h~4h。 5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法,其特征在于,步驟四中所述采用梯度加熱、加壓的方式進行SPS燒結(jié)的工藝為:第一梯度:無壓加熱至100℃~200℃保溫5min~10min;第二梯度:加壓至10MPa~15MPa,加壓的同時繼續(xù)升溫至400℃~450℃保溫2min~5min;第三梯度:再次加壓至40MPa~50MPa,隨后升溫至溫度500℃~580℃,保溫5min~30min后完成燒結(jié);第四梯度:關(guān)閉加熱電源,將壓力調(diào)至第三梯度加壓后壓力的1/2~2/3,待冷卻到室溫,再卸壓至零,得到燒結(jié)坯料。 6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法,其特征在于,步驟五中所述包覆熱軋的工藝為
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