本發(fā)明提供一種用于遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè)等離子體(3)的方法和系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括位于耦合等離子體源的近電磁場(chǎng)中的磁場(chǎng)天線(2)，其中，該磁場(chǎng)天線是置于該近電磁場(chǎng)中的磁環(huán)天線并測(cè)量從該等離子體源發(fā)射的近場(chǎng)信號(hào)。一種無(wú)線電系統(tǒng)(1)用于分析寬頻帶上的低功率信號(hào)電平。通過(guò)對(duì)驅(qū)動(dòng)頻率的高次諧波上所存在的諧振特征進(jìn)行擬合來(lái)評(píng)估諸如串聯(lián)或幾何諧振等離子體頻率、和電子中性碰撞頻率之類的等離子體參數(shù)，以標(biāo)識(shí)制造等離子體系統(tǒng)中常見(jiàn)的電弧、泵、或匹配失效事件。