本發(fā)明公開了基于EMMI的化合物半導(dǎo)體器件直流測試系統(tǒng)，包括測試夾具、源極直流電源、柵極直流電源、漏極直流電源和EMMI平臺；化合物半導(dǎo)體器件裝配在測試夾具中，EMMI平臺采集化合物半導(dǎo)體器件在不加電情況下的背景噪聲信號；然后采用源極、柵極和漏極直流電源通過測試夾具使得化合物半導(dǎo)體器件處于不同工作狀態(tài)，同時EMMI平臺采集化合物半導(dǎo)體器件的光信號，并扣除背景噪聲信號，生成化合物半導(dǎo)體器件在工作狀態(tài)下的EMMI分析圖，并分析化合物半導(dǎo)體器件是否失效，根據(jù)EMMI分析圖對失效的化合物半導(dǎo)體器件失效部位定位。本發(fā)明創(chuàng)新性的將器件的直流工作狀態(tài)與電致發(fā)光原理相結(jié)合，實現(xiàn)化合物半導(dǎo)體器件的測試。