本實(shí)用新型涉及一種加入光學(xué)檢查功能的聚焦離子束機(jī)臺(tái),其包含有腔體,安裝于所述腔體內(nèi)頂部的離子源,安裝于所述腔體內(nèi)側(cè)壁的電子偵測(cè)器,光學(xué)攝像頭以及樣品座;所述離子源發(fā)射離子束至放置于樣品座上的樣品表面,所述電子偵測(cè)器接收樣品表面受到離子束轟擊而激發(fā)出的電子成像,所述光學(xué)攝像頭安裝于腔體的內(nèi)側(cè)壁電子偵測(cè)器旁,拍攝所述樣品的光學(xué)成像;本實(shí)用新型可以減少定位加速工程時(shí)間,同時(shí)可配合光學(xué)與電子顯微檢查來達(dá)到查找失效點(diǎn)的目的。