本發(fā)明公開了一種檢測(cè)海水鹽度傳感器
芯片制造方法。涉及到藍(lán)寶石基片上制作銠電極用于檢測(cè)海水鹽度的制造方法。本發(fā)明解決了提高了海水鹽度檢測(cè)的穩(wěn)定性,采用冗余設(shè)計(jì)方法,在1個(gè)藍(lán)寶石基片上制造冗余的3對(duì)檢測(cè)電極,若其中一個(gè)對(duì)電極失效,則可通過表決系統(tǒng)識(shí)別,另外2個(gè)對(duì)電極可繼續(xù)工作,有效提高海水鹽度芯片的使用壽命和可靠性。用本發(fā)明方法制造出的傳感器芯片可以實(shí)現(xiàn)海水鹽度可靠檢測(cè),結(jié)構(gòu)緊湊,冗余設(shè)計(jì),工作模式多樣;同時(shí),降低了傳統(tǒng)電極易產(chǎn)生電極極化而帶來的性能漂移問題,有助于保證配接二次儀表的精度,適用于海洋工程、海洋開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域。
聲明:
“檢測(cè)海水鹽度傳感器芯片制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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