本申請公開了一種亞表面納米尺度失效行為顯微成像的裝置，用于實(shí)現(xiàn)一被測儲能電介質(zhì)材料和器件亞表面熱釋電行為的高分辨顯微成像，該裝置進(jìn)一步包括：亞表面熱釋電信號原位激發(fā)模塊，用于原位激發(fā)所述被測儲能電介質(zhì)材料和器件的亞表面熱釋電電流信號；熱釋電信號原位檢測模塊，用于對所述被測儲能電介質(zhì)材料和器件的亞表面熱釋電電流信號進(jìn)行原位實(shí)時檢測；熱釋電信號顯微成像模塊，根據(jù)所述熱釋電信號原位檢測模塊的檢測信號，對所述被測儲能電介質(zhì)材料和器件的亞表面熱釋電信號的高分辨顯微成像并顯示。本申請將原子力顯微鏡成像功能、焦耳熱效應(yīng)、熱波效應(yīng)和熱釋電效應(yīng)相結(jié)合，建立其基于原子力顯微鏡的亞表面納米尺度失效行為高分辨顯微成像的裝置。