本發(fā)明公開了一種晶圓無損測試裝置,包括:可誘導(dǎo)絕緣體?導(dǎo)體轉(zhuǎn)變探針組;以及設(shè)置在與所述可誘導(dǎo)絕緣體?導(dǎo)體轉(zhuǎn)變探針組的每個(gè)可誘導(dǎo)絕緣體?導(dǎo)體轉(zhuǎn)變探針耦合的絕緣體?導(dǎo)體轉(zhuǎn)變誘導(dǎo)控制單元。
聲明:
“晶圓無損測試裝置及測試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)