本發(fā)明公開了一種自供電柔性傳感器及其制備方法，屬于電化學傳感器技術領域，包括依次設置的第一柔性薄膜層、第一柔性電極層、氧化鋅納米片層、第二柔性薄膜層、第二柔性電極層和第三柔性薄膜層；所述第一柔性電極層和第二柔性電極層分別引出有導線，該傳感器通過引入金屬離子為摻雜劑改變了氧化鋅材料的微觀形貌以增強材料的壓電性能，既具有極好的柔韌性和拉伸性能，又提高了自身的力電敏感相應性，解決現(xiàn)有技術中由于傳感器柔韌性差和電極材料拉伸性能差，導致的傳感器電極導電性減弱甚至喪失，不能滿足軟體機器人對傳感器力學性能以及監(jiān)測性能需求的問題。