本發(fā)明涉及一種空間分辨的光誘導增材制造方法，包括以下步驟：步驟1：首先沉積光和指引光通過準直透鏡組；步驟2：通過二向色鏡后再由聚焦透鏡組射入勻光模組的入射端面；步驟3：通過勻光模組后的光線再次通過準直透鏡組，步驟4：準直光通過反射鏡反射至第一分光片，并由第一分光片將一部分分光反射至光掩模板上；步驟5：反射的光將帶有光掩模板上的信息；步驟6：光誘導化學氣相沉積的反應前驅體通過進氣口進入，在沉積光照射部分，反應物發(fā)生熱解反應或光解反應，從而在樣品基底沉積成膜，實現了信息的轉移；步驟7：對樣品進行實時成像觀測。本發(fā)明改變了傳統(tǒng)的空間分辨的增材制造工藝流程，能有效地提高空間分辨的增材制造效率。