本發(fā)明提供了一種等離子體去夾膜方法。利用干膜執(zhí)行圖形電鍍,其中在印制板表面先使用干膜制作出線路圖形;再在印制板表面上由干膜制出的圖形處進(jìn)行電鍍銅加厚并鍍錫以保護(hù)要保留的區(qū)域;隨后褪除干膜;檢查印制板表面的線路或焊盤之間是否有干膜殘留,殘留的干膜就是所說的夾膜,并利用等離子體去除夾膜。利用等離子體去除夾膜的過程分三步完成,第一步使用氧氣與氮?dú)膺M(jìn)行抽真空;第二步使用氧氣、四氟化碳和氮?dú)鈦砣コ龏A膜;第三步使用氧氣來進(jìn)行清潔。第一步中氧氣與氮?dú)獾捏w積比為4:1。第二步中氧氣、四氟化碳和氮?dú)獾捏w積比為15:3:2。本發(fā)明采用等離子體處理的方式將線路之間的夾膜去除,可以避免常規(guī)手工操作或化學(xué)藥水咬蝕對(duì)精細(xì)線路的損傷,從而最大程度保證線路之間的可靠性。
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