本發(fā)明公開了一種三角形結(jié)構(gòu)的微懸臂梁傳感器,該傳感器包括:用于支撐懸臂梁的襯底框架;至少一個固定于襯底框架上的懸臂梁結(jié)構(gòu);固定在構(gòu)成所述懸臂梁結(jié)構(gòu)的兩個懸臂梁交叉成銳角端的反光板。本發(fā)明同時公開了一種三角形結(jié)構(gòu)微懸臂梁傳感器的制作方法。利用本發(fā)明,提高了測量的精度,在使用光學(xué)讀出的系統(tǒng)中,使測量結(jié)果更加精確,并提高了成品率,易于實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn);在生物化學(xué)量的測量中,特別是在液體環(huán)境下的測量,可以得到廣泛的應(yīng)用。