本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,特別涉及一種用于調(diào)整半導(dǎo)體設(shè)備的噴嘴位置的裝置。包括用于夾持噴嘴的夾具和用于發(fā)射激光光束的激光頭,所述激光頭一端為激光發(fā)射端,所述激光發(fā)射端發(fā)出的激光光束與所述噴嘴噴吐方向相同;所述激光頭另一端與所述夾具相連接,所述夾具與所述激光頭同軸設(shè)置;所述夾具包括容納所述噴嘴的夾頭和設(shè)置在夾頭上用于調(diào)整所述噴嘴位置的固定螺絲。本實用新型的裝置為化學(xué)品噴嘴的定位提供直觀、準(zhǔn)確的參照,在噴嘴噴涂過程中,不再需要通過目測或者在晶圓上進(jìn)行反復(fù)噴涂試驗來驗證噴嘴位置,操作簡單,不僅可以大幅提高工作效率和噴涂質(zhì)量,而且可以節(jié)約化學(xué)品成本。
聲明:
“用于調(diào)整半導(dǎo)體設(shè)備的噴嘴位置的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)