本發(fā)明提供一種潔凈容器干燥裝置,包括潔凈烘箱和置于潔凈烘箱中的潔凈容器罐,潔凈容器罐連接抽烘管路,抽烘管路連接至置換氣體管路,抽烘管路上還連接有檢漏儀和冷阱,冷阱通過管路連接真空泵的進口。抽烘管路可根據(jù)容器罐接口要求進行轉(zhuǎn)接,可對高漏率要求的容器罐檢漏,操作在一個完全密閉的潔凈條件下進行,對潔凈度要求高的容器罐干燥過程中不會產(chǎn)生污染,實現(xiàn)了烘干與換氣的一體化,節(jié)約了時間,提高了高純危險化學品的儲存環(huán)境,大大縮短了烘干與換氣周期。