本發(fā)明公開了一種用于氮化鋁籽晶的加工工藝，采用X射線對(duì)氮化鋁籽晶進(jìn)行晶向測(cè)定，測(cè)量精度高；采用金剛石線進(jìn)行切割，能夠克服氮化鋁材料由于硬度及脆性較大給切割帶來的困難；采用研磨工藝，可以有效去除切割后氮化鋁材料的表面損傷；采用機(jī)械拋光工藝，可以保證氮化鋁材料具有較高的表面質(zhì)量；采用化學(xué)機(jī)械拋光工藝，同時(shí)通過物理作用與化學(xué)作用，可以在機(jī)械拋光的基礎(chǔ)上進(jìn)一步提高氮化鋁籽晶的表面質(zhì)量；采用有機(jī)溶劑進(jìn)行清洗，可以防止酸堿或離子水對(duì)氮化鋁籽晶表面的輕微腐蝕。該加工工藝使制得的氮化鋁籽晶具有優(yōu)異的翹曲度、總厚度變化及表面粗糙度，完全能夠滿足外延生長(zhǎng)的需要，能夠長(zhǎng)出尺寸較大、質(zhì)量較好的氮化鋁晶體。