一種減少晶邊研磨顆粒殘留的裝置，包括氫氟酸酸槽、節(jié)流閥、機臺化學(xué)柜、流量偵測器、第一氫氟酸噴頭以及第二氫氟酸噴頭，其中，氫氟酸酸槽通過輸送管線與機臺化學(xué)柜連通，并且與氫氟酸酸槽連通的輸送管線上設(shè)置有節(jié)流閥，機臺化學(xué)柜與第一氫氟酸噴頭以及第二氫氟酸噴頭通過輸送管線連通，與第一氫氟酸噴頭以及第二氫氟酸噴頭連通的輸送管線上設(shè)置有流量偵測器，流量偵測器通過輸送管線分別與第一氫氟酸噴頭以及第二氫氟酸噴頭連通，第一氫氟酸噴頭位于待處理晶圓的晶面上方，第二氫氟酸噴頭位于待處理晶圓晶面的側(cè)部。操作時第一氫氟酸噴頭和第二氫氟酸噴頭對晶圓的表面以及晶邊進行全面的清洗，減少研磨液殘留，提升產(chǎn)品良率。