本發(fā)明涉及一種
石墨烯生長(zhǎng)爐管內(nèi)的石英管的清洗方法,包括以下步驟:步驟一,將石墨烯生長(zhǎng)爐的爐體升溫至600-900℃并保持恒溫,同時(shí)向石墨烯生長(zhǎng)爐內(nèi)的石英管內(nèi)通入氧氣,持續(xù)時(shí)間1-2小時(shí);步驟二,待石墨烯生長(zhǎng)爐的爐體內(nèi)溫度降至室溫,使用含有硝酸鐵的高嶺土擦拭石英管內(nèi)壁,直至石英管內(nèi)壁上的附著物消失;步驟三,移除石英管內(nèi)的高嶺土,使用沾取酒精的無(wú)塵布擦拭石英管整個(gè)腔體;步驟四,待石英管內(nèi)目檢無(wú)殘留物后,向石英管內(nèi)通入氮?dú)獯祾?。本發(fā)明采用氧氣燃耗的方法,除去碳物質(zhì)殘留,利用機(jī)械摩擦以及化學(xué)試劑去除生長(zhǎng)基底物質(zhì)殘留,不需采購(gòu)專用清洗機(jī)臺(tái),節(jié)省不菲的設(shè)備購(gòu)置費(fèi),不需拆卸爐體內(nèi)石英管,節(jié)省了設(shè)備維護(hù)時(shí)間。
聲明:
“石墨烯生長(zhǎng)爐管內(nèi)的石英管的清洗方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)